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A high-q bulk-resonator equipped with ultra-sensitive mesoporous nano-material for detection of trac
  • 所属机构名称:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 会议名称:Transducers 2013
  • 时间:2013.6.6
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:微纳系统材料、制造与器件物理
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