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应力条件下AIGaN/GaN HEMT电流崩塌效应研究
  • ISSN号:1003-353X
  • 期刊名称:《半导体技术》
  • 时间:0
  • 分类:TN325.3[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构:[1]电子科技大学微电子与固体电子学院,成都610054
  • 相关基金:国家自然科学基金(60072004)
中文摘要:

采用应力测试方法,获得了AlGaN/GaN HEMT漏极电流随时间的变化关系。实验结果表叫,应力导致漏极电流崩塌56.2%:不同电压应力条件下,只要所加时间足够长和电压足够人,相同栅压的电流崩塌程度都近似相等;漏极电流恢复时间与大小分别为34.5+σVGS与σ(VGS-VT)(2-β)。研究表明,栅-漏间表面态捕获的电子使得表面电势发生变化,引起沟道中二维电子气浓度降低,从而导致电流崩塌效应的产生。此结论可提用于AlGaN/GaNHEMT器件电流崩塌效应进一步的理论探索和器件研究。

英文摘要:

Bias stress measurement is adopted to acquire the AlGaN/GaN HEMTs' drain current variation which follows the time. The results show that the current is collapsed 56.2% induced by bias stress, and if the bias stress is long and large enough, current collapses are approximately even in the same gate voltage and different bias conditions. The analysis results revealed that the drain current recovery time and magnitude are 34.5+σVGS and σ(VGS-VT)(2-β), respectively. The investigation indicates that the surface electrons induced surface potential changes cause 2DEG density decreasing in channel, it is the main reason inducing current collapse. This conclusion can be assisted in further theory research and investigation for AlGaN/GaN HEMT devices.

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期刊信息
  • 《半导体技术》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国电子科技集团公司
  • 主办单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
  • 主编:赵小玲
  • 地址:石家庄179信箱46分箱
  • 邮编:050051
  • 邮箱:informax@heinfo.net
  • 电话:0311-87091339
  • 国际标准刊号:ISSN:1003-353X
  • 国内统一刊号:ISSN:13-1109/TN
  • 邮发代号:18-65
  • 获奖情况:
  • 中文核心期刊,中国科技论文统计用刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘(网络版),美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:6070