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Humidity sensing behavior of silicon nanowires with hexamethyldisilazane modification
  • ISSN号:0925-4005
  • 期刊名称:Sensors and Actuators B: Chemical
  • 时间:2011.8.8
  • 页码:631-636
  • 相关项目:基于一维硅纳米结构的微型电离气敏传感器研究
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