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Fabrication of submicron-gap electrodes by silicon volume expansion for DNA-detection
  • ISSN号:0924-4247
  • 期刊名称:Sensors and Actuators A: Physical
  • 时间:2012.3.3
  • 页码:73-77
  • 相关项目:基于一维硅纳米结构的微型电离气敏传感器研究
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