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Development of a novel two axis piezoresistive micro accelerometer based on silicon
  • ISSN号：1546-198X
  • 期刊名称：Sensor Letters
  • 时间：2008.2
  • 页码：149-158
  • 相关项目：MEMS仿生矢量水听器“桔瓣”式复合效应封装技术研究
作者： Zhang, Wendong|Xiong, Jijun|Zhang, Binzhen|Zhang, Guojun|
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期刊论文 36
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