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Advancements in technology and design of NEMS vector hydrophone
  • ISSN号：0946-7076
  • 期刊名称：Microsystem Technologies
  • 时间：2011.3
  • 页码：459-467
  • 相关项目：MEMS仿生矢量水听器“桔瓣”式复合效应封装技术研究
作者： Xue, Chenyang|Zhang, Guojun|Zhang, Wendong|Wang, Panpan|
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期刊论文 36
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