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单片集成三维MEMS仿生矢量水听器设计
  • ISSN号：0946-7076
  • 期刊名称：Microsystem Technologies
  • 时间：2015
  • 页码：1697-1708
  • 相关项目：MEMS仿生矢量水听器“桔瓣”式复合效应封装技术研究
作者： Guojunzhang|Lin Xian Liu|WenDongZhang|ChenYang Xue|
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期刊论文 36
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