位置：成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
三维MEMS传感器的设计
  • ISSN号：1674-4926
  • 期刊名称：Chinese Journal of Semiconductors
  • 时间：2013.11.1
  • 页码：21-27
  • 相关项目：MEMS仿生矢量水听器“桔瓣”式复合效应封装技术研究
作者： 张国军|
同期刊论文项目
MEMS仿生矢量水听器“桔瓣”式复合效应封装技术研究
期刊论文 36
同项目期刊论文
MEMS仿生矢量水听器优化设计
新型三维MEMS矢量水听器的设计
MEMS仿生矢量水听器封装结构的设计与研究
Improvement of the MEMS bionic vector hydrophone
Advancements in technology and design of NEMS vector hydrophone
A Bionic Fish Cilia Median-Low Frequency Three-Dimensional Piezoresistive MEMS Vector Hydrophone
Performance Research on MEMS Bionic Vector Hydrophone Based on "Sandwich"-Type Package Str
Research of DOA Estimation Based on Single MEMS Vector Hydrophone
纤毛式MEMS仿生矢量水听器封装优化
一种仿鱼侧线器官的低频三维压阻式MEMS矢量水听器
Development of a novel two axis piezoresistive micro accelerometer based on silicon
MEMS仿生矢量水听器微结构的有限元分析
阵列式MEMS矢量水听器的信息采集系统设计
基于NBR透声帽的MEMS仿生矢量水听器设计
MEMS仿生矢量水听器二次集成的误差分析测试
MEMS矢量水听器减振结构的设计与研究
单片集成三维MEMS仿生矢量水听器设计
基于MEMS矢量水听器阵列的潜标系统
基于丁腈橡胶帽封装的MEMS仿生水听器的设计
一种用于管道地面标记的阵列式MEMS矢量声传感器仿真研究
中低频仿鱼测线三维压阻式MEMS矢量水听器
单片集成四元阵列式MEMS矢量水听器的研究
组合式MEMS三维矢量水声传感器
纤毛式MEMS矢量水听器的优化设计与测试
基于Parylene封装的宽频带MEMS矢量水听器
MEMS矢量传感器用于管道地面标记的一种新方案研究
MEMS矢量传感器方位估计误差分析
可刚性固定MEMS矢量水听器的设计
MEMS电子听诊器微结构设计与验证
微声矢量传感器在管道巡检装置定位中的应用
单矢量振动传感器的地震动信号方位估计
杯型MEMS矢量水听器的设计
期刊信息
  • 《半导体学报：英文版》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国电子学会 中国科学院半导体研究所
  • 主编：李树深
  • 地址：北京912信箱
  • 邮编：100083
  • 邮箱：cjs@semi.ac.cn
  • 电话：010-82304277
  • 国际标准刊号：ISSN：1674-4926
  • 国内统一刊号：ISSN：11-5781/TN
  • 邮发代号:2-184
  • 获奖情况:
  • 90年获中科院优秀期刊二等奖,92年获国家科委、中共中央宣传部和国家新闻出版署...,97年国家科委、中共中央中宣传部和国家新出版署三等奖,中国期刊方阵“双效”期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,英国英国皇家化学学会文摘,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:7754