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一种仿鱼侧线器官的低频三维压阻式MEMS矢量水听器
  • 期刊名称:Nano and micro letters
  • 时间:2014.4
  • 页码:136-142
  • 相关项目:MEMS仿生矢量水听器“桔瓣”式复合效应封装技术研究
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