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Influence of pH, immersion time, and benzotriazole concentration on copper corrosion in citric acid
  • ISSN号:1001-6538
  • 期刊名称:CHINESE SCIENCE BULLETIN
  • 时间:0
  • 页码:1158-1164
  • 相关项目:极大规模集成电路铜互连平坦化新原理及其应用研究
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