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<100> n-type metal-oxide- semiconductor field-effect transistor- embedded microcantilever sens
  • 期刊名称:Appl. Phys. Lett.
  • 时间:0
  • 页码:224-227
  • 语言:中文
  • 相关项目:e 指数半导体器件嵌入式微纳机械结构高灵敏传感器基础研究
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