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Integration of GaAs/In0.1Ga0.9As/AlAs resonance tunneling heteros-tructures intomicro-electro- mecha
  • 期刊名称:Phys. Status Solidi A
  • 时间:0
  • 页码:27-31
  • 语言:英文
  • 相关项目:e 指数半导体器件嵌入式微纳机械结构高灵敏传感器基础研究
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