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Chemisorption sensing and analysis using silicon cantilever sensor based on n-type metal-oxide-semic
  • 期刊名称：Microelectronic Engineering
  • 时间：0
  • 页码：2211-2216
  • 语言：英文
  • 相关项目：e 指数半导体器件嵌入式微纳机械结构高灵敏传感器基础研究
作者： Ying Huang|Jian Wang| Bo Feng|Wengang Wu|
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