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CMOS工艺兼容的单片集成湿度传感
  • 期刊名称：半导体学报, 02期：1428-1433，2006
  • 时间：0
  • 相关项目：单片集成MEMS风速计和气压计的优化理论和封装技术研究
作者： 彭韶华; 黄庆安; 秦明; 张中平
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