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利用ABS实现MEMS后处理中的电路
  • 期刊名称：电子器件, 28（2）：242-244，2005
  • 时间：0
  • 相关项目：单片集成MEMS风速计和气压计的优化理论和封装技术研究
作者： 曹正军; 秦明
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