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非热式微流量传感器
  • 期刊名称：电子器件, 29（4）：1065-1070，2006
  • 时间：0
  • 相关项目：单片集成MEMS风速计和气压计的优化理论和封装技术研究
作者： 魏泽文; 秦明; 黄庆安
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