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Si-OH基团对SiCOH低k薄膜性能的
  • 期刊名称：物理学报 55(2006) 2606-2612
  • 时间：0
  • 相关项目：多线圈大面积感应耦合等离子体的耦合特性和均匀性研究
作者： 叶超 宁兆元 辛煜 王婷婷 俞笑竹
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多线圈大面积感应耦合等离子体的耦合特性和均匀性研究
期刊论文 26
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