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硅微谐振式压力传感器中的单端口静电激励-电容检测方法研究
  • ISSN号：1674-5795
  • 期刊名称：《计测技术》
  • 时间：0
  • 分类：TB9[机械工程—测试计量技术及仪器;一般工业技术—计量学]
  • 作者机构：[1]北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院
  • 相关基金：国家自然科学基金资肋项目(60804062);国家自然科学基金资助项目(60927005)
作者： 邢维巍[1], 彭振江[1], 樊尚春[1]
关键词： 静电激励/电容检测, 硅微谐振式压力传感器, 同频耦合干扰, 频域分离法, electrostatic excitation /capacitive detection, silicon resonant micro-sensor, the same frequency coupling interference, frequency separation method
中文摘要：

采用静电激励-电容检测方式的硅微谐振式压力传感器具有温度稳定性好、灵敏度高、功耗低等优点,但同频耦合干扰是限制电容检测精度的主要因素。采用频域分离法可有效地克服同频耦合干扰带来的影响。在研究基于频域分离法的单端口静电激励/电容检测的基础上,提出了单端口静电激励/电容检测方案。

英文摘要：

采用静电激励-电容检测方式的硅微谐振式压力传感器具有温度稳定性好、灵敏度高、功耗低等优点,但同频耦合干扰是限制电容检测精度的主要因素。采用频域分离法可有效地克服同频耦合干扰带来的影响。在研究基于频域分离法的单端口静电激励/电容检测的基础上,提出了单端口静电激励/电容检测方案。

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期刊信息
  • 《计测技术》
  • 主管单位:中国航空工业集团公司
  • 主办单位:中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
  • 主编：陈霞
  • 地址：北京市海滨区环山村304所
  • 邮编：100095
  • 邮箱：mmt304@126.com
  • 电话：010-62457159 62457160
  • 国际标准刊号：ISSN：1674-5795
  • 国内统一刊号：ISSN：11-5347/TB
  • 邮发代号:80-441
  • 获奖情况:
  • 2004年获中国航空工业集团公司科技期刊二等奖
  • 国内外数据库收录:
  • 被引量:2078