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Effect of Modulation Period and N+ Beam Bombarding Energy on the growth of Nanoscale ZrB2/AlN Multil
  • 期刊名称:Physics Procedia
  • 时间:0
  • 页码:16-20
  • 语言:英文
  • 相关项目:纳米多层膜的界面结构和超晶格调制对其高温稳定性和超硬效应的影响
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