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Modulation periods and ratios induced changes of microstructure and mechanical properties of AlN/ZrB
  • ISSN号:0042-207X
  • 期刊名称:Vacuum
  • 时间:0
  • 页码:1411-1413
  • 语言:英文
  • 相关项目:纳米多层膜的界面结构和超晶格调制对其高温稳定性和超硬效应的影响
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