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调制周期对ZrB2/WNx纳米多层膜的机械性能和结构的影响
  • 期刊名称:真空
  • 时间:0
  • 页码:31-34
  • 语言:中文
  • 相关项目:纳米多层膜的界面结构和超晶格调制对其高温稳定性和超硬效应的影响
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