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调制周期、调制比、沉积温度对ZrB_2/W纳米多层膜微结构和机械性能的影响
  • 期刊名称:中国科学:技术科学
  • 时间:0
  • 页码:43-48
  • 语言:中文
  • 相关项目:纳米多层膜的界面结构和超晶格调制对其高温稳定性和超硬效应的影响
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