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Synthesis of nanoscale CNx/TiAlN multilayered coatings by ion-beam-assisted deposition
  • ISSN号:0734-2101
  • 期刊名称:Journal of Vacuum Science & Technology A
  • 时间:0
  • 页码:1314-1318
  • 语言:英文
  • 相关项目:纳米多层膜的界面结构和超晶格调制对其高温稳定性和超硬效应的影响
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