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工作气压和基底偏压对ZrB_2/AlN纳米多层膜结构和机械性能的影响
  • 期刊名称:真空科学与技术学报
  • 时间:0
  • 页码:453-458
  • 语言:中文
  • 相关项目:纳米多层膜的界面结构和超晶格调制对其高温稳定性和超硬效应的影响
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