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Design and fabrication of a magnetic bi-stable electromagnetic MEMS relay
  • ISSN号:0026-2692
  • 期刊名称:Microelectronics Journal
  • 时间:0
  • 页码:556-563
  • 语言:英文
  • 相关项目:永磁锁定的双稳态电热微驱动器预微继电器研究
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