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Fabrication of arched MEMS electric contactor nanofiber composite film with Cu-based carbon
  • 期刊名称:Micro/nano Letters
  • 时间:0
  • 页码:58-62
  • 语言:中文
  • 相关项目:永磁锁定的双稳态电热微驱动器预微继电器研究
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