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MEMS-based carbon nanotube and carbon nanofiber Cu micro special electric contact
  • ISSN号:0960-1317
  • 期刊名称:Journal of Micromechanics and Microengineering
  • 时间:0
  • 页码:801-808
  • 语言:英文
  • 相关项目:永磁锁定的双稳态电热微驱动器预微继电器研究
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