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二次电子对低气压射频氩气辉光放电特征影响的数值模拟
  • ISSN号：1070-664X
  • 期刊名称：Physics of Plasmas
  • 时间：2014.8.28
  • 页码：-
  • 相关项目：磁控溅射等离子体行为对TCO薄膜结构性能影响机理
作者： 刘倩|刘悦|Tagra Samir|马照帅|
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磁控溅射等离子体行为对TCO薄膜结构性能影响机理
期刊论文 25
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