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不同驱动电源下磁溅射等离子体行为
  • ISSN号：1674-1048
  • 期刊名称：辽宁科技大学学报
  • 时间：2015.8
  • 页码：247-
  • 相关项目：磁控溅射等离子体行为对TCO薄膜结构性能影响机理
作者： 周艳文|
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磁控溅射等离子体行为对TCO薄膜结构性能影响机理
期刊论文 25
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  • 国际标准刊号：ISSN：1674-1048
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  • 美国化学文摘（网络版）,美国剑桥科学文摘
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