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粉末靶磁控溅射制备F掺杂SnO2薄膜的结构及光学性能
  • ISSN号：1001-1560
  • 期刊名称：《材料保护》
  • 时间：0
  • 分类：TB383.2[一般工业技术—材料科学与工程]
  • 作者机构：辽宁科技大学材料与冶金学院
  • 相关基金：国家自然科学基金(51172101,51372109);辽宁省高等学校优秀人才支持计划(LR2012009)资助
作者： 宁洁, 周艳文, 樊子铭
关键词： 磁控溅射, 二氧化锡, 结构, 光学性能, 粉末靶
中文摘要：

采用粉末靶射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备氟掺杂二氧化锡(FTO)薄膜。结果表明:制备的样品为多晶薄膜,具有二氧化锡的四方金红石结构。沉积气氛的含氧量增加,会使薄膜的主要择优取向由(211)转变成(110)。除沉积气氛中无氧的超厚薄膜外,其他FTO可见光区平均透光率可达90%。

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期刊信息
  • 《材料保护》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国机械工业联合会
  • 主办单位:中国腐蚀与防护学会 中国表面工程协会 武汉材料保护研究所
  • 主编：魏兆军
  • 地址：武汉市宝丰二路126号
  • 邮编：430030
  • 邮箱：bmgczx@126.com
  • 电话：027-83330037
  • 国际标准刊号：ISSN：1001-1560
  • 国内统一刊号：ISSN：42-1215/TB
  • 邮发代号:38-30
  • 获奖情况:
  • 中国优秀期刊,中文核心期刊,中国科技论文统计源用刊,中国期刊方阵“双高”期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘（网络版）,美国剑桥科学文摘,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:17441