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串联电容对扭转静电微执行器Pull-in稳定的影响
  • 期刊名称:微电子学
  • 时间:0
  • 页码:910-913
  • 语言:中文
  • 相关项目:大努森数下微机械谐振器及滤波器的滑动膜分子阻尼模型
作者: 方玉明|
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