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串联电容的静电驱动微执行器的动态Pull-in 模型
  • 期刊名称：固体电子学研究与进展
  • 时间：0
  • 页码：29-34
  • 语言：中文
  • 相关项目：大努森数下微机械谐振器及滤波器的滑动膜分子阻尼模型
作者： 方玉明|李普|胡如夫|
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