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A new free molecular model for squeeze-film damping of flexible microbeam in low vacuum
  • 期刊名称：micro and nanosystems
  • 时间：0
  • 页码：68-71
  • 语言：中文
  • 相关项目：大努森数下微机械谐振器及滤波器的滑动膜分子阻尼模型
作者： Pu Li|Yuming Fang|
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