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A molecular dynamics simulation approach for the squeeze-film damping of MEMS devices in the free mo
  • 期刊名称:Journal of Micromechanics and Microengineering
  • 时间:0
  • 页码:035005-1-035005-14
  • 语言:英文
  • 相关项目:大努森数下微机械谐振器及滤波器的滑动膜分子阻尼模型
作者: Yuming Fang|Pu Li|
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