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Air-bearing position optimization based on dynamic characteristics of ultra-precision linear stages
  • 期刊名称:Frontiers of Mechanical Engineering in China,
  • 时间:0
  • 页码:400-407
  • 语言:中文
  • 相关项目:二维平面电机复杂多变量耦合非线性动力学及控制研究
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