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光刻机主基板的动态特性分析及优化
  • ISSN号：1004-132X
  • 期刊名称：中国机械工程
  • 时间：0
  • 页码：17-22
  • 语言：中文
  • 分类：TH113.1[机械工程—机械设计及理论]
  • 作者机构：[1]华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室,武汉430074, [2]上海微电子装备有限公司国家光刻设备工程技术研究中心,上海201203
  • 相关基金：国家重点基础研究发展计划资助项目（2003CB716206）;国家自然科学基金资助项目（50605025）
  • 相关项目：二维平面电机复杂多变量耦合非线性动力学及控制研究
作者： 陈学东|余显忠|严天宏|郭合忠|
关键词： 主基板, 有限元分析, 模态试验, 优化设计, main--plate, finite element analysis, modal test, optimization design
中文摘要：

　利用有限元分析理论和模态分析理论，分析了高分辨光刻机主基板的动态特性，分析结果表明主基板结构设计合理。结合模态试验，验证了主基板有限元模型的正确性。利用该有限元模型，进行了灵敏度分析，还进一步实现了主基板结构的优化设计。

英文摘要：

The main--plate of the high--resolution stepping--scanning lithography was studied. Using the finite element analysis theory and modal analysis theory, dynamic characteristics of the main--plate were analyzed, and it proves the structural design is reasonable. Using modal test, the finite element model was validated. Using the finite element model, we carried out sensitive analysis, and implemented the optimization design.

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期刊信息
  • 《中国机械工程》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学技术协会
  • 主办单位:中国机械工程学会
  • 主编：董仕节
  • 地址：湖北工业大学772信箱
  • 邮编：430068
  • 邮箱：paper@cmemo.org.cn
  • 电话：027-87646802
  • 国际标准刊号：ISSN：1004-132X
  • 国内统一刊号：ISSN：42-1294/TH
  • 邮发代号:38-10
  • 获奖情况:
  • 1997年获中国科协期刊一等奖，第二届全国优秀科技...,机械行业优秀期刊一等奖,1999年获首届国家期刊奖,2001年获首届湖北十大名刊,中国期刊方阵“双高”期刊,2003第二届国家期刊奖提名奖,百种中国杰出学术期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:50788