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The nanocrystalline structure of TiO2 film deposited by DC magnetron sputtering at room temperature
  • ISSN号:0217-9849
  • 期刊名称:Modern Physics Letters B
  • 时间:2014.10.27
  • 页码:1450216-
  • 相关项目:a-SiOxNy薄膜化学键结构与缺陷形成机理的研究
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