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Preparation and properties of surface textured ZnO: Al films by direct current pulse magnetron sputt
  • ISSN号:0957-4522
  • 期刊名称:JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE-MATERIALS IN ELECTRON
  • 时间:2013.1
  • 页码:53-57
  • 相关项目:a-SiOxNy薄膜化学键结构与缺陷形成机理的研究
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