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Ni/Si solid phase reaction studied by temperature-dependent current-voltage technique
  • 期刊名称:J. Appl. Phys
  • 时间:0
  • 页码:93(2), 866-870 (2003).
  • 语言:英文
  • 相关项目:多层薄膜固相反应与Co-Ni系硅化物薄膜外延及应用研究
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