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多孔硅及其在MEMS中的应用
  • 期刊名称：固体电子学研究与进展
  • 时间：0
  • 页码：23（1），107-111，2003
  • 语言：中文
  • 相关项目：在多孔性绝缘介质基底表面形成导电PPy薄膜的研究
作者： 马家志|胡明|田斌|张之圣|王博|
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在多孔性绝缘介质基底表面形成导电PPy薄膜的研究
期刊论文 20
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