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Modified Fowler–Nordheim tunnelling for modeling charge injection intoSi3N4 in an Al/Si3N4/Si struct
  • 期刊名称:Applied Physics A
  • 时间:2012.7.21
  • 页码:539-545
  • 相关项目:纳米光波导器件制造科学问题及关键技术研究
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