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退火处理对TiO_2薄膜结构和透射的影响
  • ISSN号：1002-0322
  • 期刊名称：真空
  • 时间：2012
  • 页码：55-57
  • 分类：O436[机械工程—光学工程;理学—光学;理学—物理]
  • 作者机构：[1]天津师范大学物理与电子信息学院,天津300387
  • 相关基金：国家自然科学基金项目（61078059）,天津师范大学推进计划项目（52x09038）.
  • 相关项目：金属层对光子能带结构的影响机理研究
作者： 王丽格|黄美东|杜珊|佟莉娜|刘野|
关键词： 退火, 磁控溅射, 二氧化钛薄膜
中文摘要：

在常温下，采用射频反应磁控溅射方法在不同溅射功率下于K9双面抛光玻璃基底上制备二氧化钛薄膜。将制备的样品进行450℃退火6h热处理。利用X射线衍射仪（XRD）对比分析了退火前后薄膜的微观结构，采用光栅光谱仪测试了退火前后薄膜样品的透射谱。实验结果表明，退火前薄膜样品是非晶态，退火后薄膜晶化为晶态，但不同溅射功率下制备的薄膜结晶取向有差异；退火热处理对薄膜的折射率有一定影响，表现为退火前后透射谱偏移。

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期刊信息
  • 《真空》
  • 北大核心期刊（2008版）
  • 主管单位:
  • 主办单位:中国机械工业集团公司有限公司 沈阳真空技术研究所
  • 主编：李玉英
  • 地址：沈阳市沈河区万柳塘路2路
  • 邮编：110042
  • 邮箱：zkzk@chinajournal.net.cn
  • 电话：024-24121929
  • 国际标准刊号：ISSN：1002-0322
  • 国内统一刊号：ISSN：21-1174/TB
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 工程技术类核心期刊,中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:3452