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Characterization of a Czochralski grown silicon crystal doped with 10 20 cm-3 germanium
ISSN号:0232-1300
期刊名称:Crystal Research and Technology
时间:0
页码:10-13
相关项目:空间用掺锗硅单晶及器件的微缺陷研究
作者:
Xu, Wubing1|Chen, Jiahe1, 2|Ma, Xiangyang1|Yang, Deren1|Gong, Longfei3|Tian, Daxi3|
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