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压电陶瓷驱动的超精密快刀伺服系统的设计与研制
  • 期刊名称:中国机械工程
  • 时间:0
  • 页码:2717-2721
  • 语言:中文
  • 相关项目:阵列波导器件封装制造的基本原理与关键技术
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