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聚合物波导条的超精密注塑制作
  • 期刊名称：航空精密制造技术
  • 时间：0
  • 页码：5-8+41
  • 语言：中文
  • 分类：V26[航空宇航科学与技术—航空宇航制造工程;航空宇航科学技术]
  • 作者机构：[1]国防科学技术大学
  • 相关基金：国家自然科学基金重点资助项目(No.50735007)
  • 相关项目：阵列波导器件封装制造的基本原理与关键技术
作者： 刘勇|吴宇列|彭文强|
关键词： 聚合物波导, 飞切, 注塑成型, 光耦合, polymer optical waveguide, fly-cutting, injection molding, light coupling
中文摘要：

通过分析目前聚合物波导主要以微机电工艺的制造加工现状,提出了波导条的超精密注塑制作工艺。利用超精密飞切加工系统实现了波导条金属Al模具的飞切加工,通过超精密注塑机以PMMA为注塑材料得到了波导条的微结构,最后在波导微结构内旋涂上作为芯层紫外胶紫外光固化获得了所需要的梯形波导条。

英文摘要：

通过分析目前聚合物波导主要以微机电工艺的制造加工现状,提出了波导条的超精密注塑制作工艺。利用超精密飞切加工系统实现了波导条金属Al模具的飞切加工,通过超精密注塑机以PMMA为注塑材料得到了波导条的微结构,最后在波导微结构内旋涂上作为芯层紫外胶紫外光固化获得了所需要的梯形波导条。

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