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Preferential growth of Si films on 6H-SiC(0001) C-face
  • ISSN号:0169-4332
  • 期刊名称:APPLIED SURFACE SCIENCE
  • 时间:2012.11.15
  • 页码:88-91
  • 相关项目:基于Si/SiC异质结的非紫外光控SiC大功率电力电子器件可行性研究
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