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6H-SiC硅面S钝化工艺研究
  • ISSN号：1000-985X
  • 期刊名称：人工晶体学报
  • 时间：2015.11.1
  • 页码：3000-3004
  • 分类：TB306[一般工业技术—材料科学与工程]
  • 作者机构：西安理工大学电子工程系
  • 相关基金：国家自然科学基金(51207128,51177134);陕西省教育厅基金(2013JK1102)
  • 相关项目：基于Si/SiC异质结的非紫外光控SiC大功率电力电子器件可行性研究
作者： 陈进|杨莺|邢青青等|
关键词： 碳化硅, S钝化, I-V, XPS
中文摘要：

采用（NH4）2S溶液钝化SiC的Si面,借助反向I-V特性间接表征钝化效果,得到了SiC表面最佳的钝化参数:钝化温度60℃、钝化时间30 min、NH3·H2O浓度为2.4 mol/L、（NH4）2S浓度为0.22 mol/L。XPS测试结果表明钝化后的6H-Si C表面形成了Si-S键,反向饱和I-V特性表明S钝化降低了表面的态密度。实验结果与第一性原理计算结果相吻合。

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期刊信息
  • 《人工晶体学报》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国建材工业协会
  • 主办单位:中国硅酸盐学会 晶体生长与材料专业委员会 中材人工晶体研究院
  • 主编：余明清
  • 地址：北京市733信箱
  • 邮编：100018
  • 邮箱：
  • 电话：010-65492963 65492968 65493320
  • 国际标准刊号：ISSN：1000-985X
  • 国内统一刊号：ISSN：11-2637/O7
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 1997年获国家科技优秀期刊,获部级优秀科技期刊奖,中国期刊方阵“双效”期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:9943