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Effect of growth gas flow rate on the SiC crystal resistivity
  • ISSN号:0884-2914
  • 期刊名称:JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH
  • 时间:2013.1
  • 页码:23-27
  • 相关项目:基于Si/SiC异质结的非紫外光控SiC大功率电力电子器件可行性研究
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