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β-FeSi2 films prepared on 6H-SiC substrates by magnetron sputtering
  • ISSN号：1674-4926
  • 期刊名称：半导体学报
  • 时间：2015.6.1
  • 页码：063005-
  • 分类：TN304.24[电子电信—物理电子学] TN304[电子电信—物理电子学]
  • 相关基金：Project supported by the National Natural Science Foundation of China （No. 51177134） and the Natural Science Basic Research Plan in Shaanxi Province of China （No. 2015JM6286）.
  • 相关项目：基于Si/SiC异质结的非紫外光控SiC大功率电力电子器件可行性研究
作者： Li H.|Pu H.B.|Zheng C.L.|Chen Z.M.|
关键词： 6H-SIC, FeSi2, 溅射制备, 磁控, 扫描电子显微镜, X射线衍射谱, 红外分光光度计, 快速热退火, β-FeSi2 films, 6H-SiC substrates, magnetron sputtering, X-ray diffraction （XRD）
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期刊信息
  • 《半导体学报：英文版》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国电子学会 中国科学院半导体研究所
  • 主编：李树深
  • 地址：北京912信箱
  • 邮编：100083
  • 邮箱：cjs@semi.ac.cn
  • 电话：010-82304277
  • 国际标准刊号：ISSN：1674-4926
  • 国内统一刊号：ISSN：11-5781/TN
  • 邮发代号:2-184
  • 获奖情况:
  • 90年获中科院优秀期刊二等奖,92年获国家科委、中共中央宣传部和国家新闻出版署...,97年国家科委、中共中央中宣传部和国家新出版署三等奖,中国期刊方阵“双效”期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,英国英国皇家化学学会文摘,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:7754