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基于Si-NPA的BaTiO3薄膜的电容湿敏性能研究
  • ISSN号：1004-1699
  • 期刊名称：《传感技术学报》
  • 时间：0
  • 分类：TP212[自动化与计算机技术—控制科学与工程;自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
  • 作者机构：[1]郑州大学物理系,材料物理教育部重点实验室,郑州,450052 郑州大学物理系,材料物理教育部重点实验室,郑州,450052 郑州大学物理系,材料物理教育部重点实验室,郑州,450052 郑州大学物理系,材料物理教育部重点实验室,郑州,450052 郑州大学物理系,材料物理教育部重点实验室,郑州,450052 郑州大学物理系,材料物理教育部重点实验室,郑州,450052
  • 相关基金：国家自然科学基金资助项目(10574112)
作者： 李隆玉[1], 肖顺华[1], 董永芬[1], 冯春岳[1], 姜卫粉[1], 李新建[1]
关键词： 湿度传感器, 硅纳米孔柱阵列(Si-NPA), BATIO3, 饱和盐水溶液
中文摘要：

采用溶胶-凝胶和旋涂技术制备了基于Si-NPA的BaTiO3薄膜(BaTiO3/Si-NPA).场发射扫描电镜和X射线衍射实验表明,钙钛矿结构BaTiO3薄膜很好地覆盖了Si-NPA表面.通过蒸镀双面梳状电极,制作了电容型BaTiO3/Si-NPA湿敏元件并对其湿敏性能进行了测试.结果表明,室温下湿敏元件在11%～95%RH范围内具有很高的灵敏度和较快的响应速度,且电容值的对数对湿度呈现出很好的线性.虽然该薄膜湿敏元件在不同湿度下均存在温度漂移,但分析表明这种漂移有可能通过电极设计或信号补偿加以解决.

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期刊信息
  • 《传感技术学报》
  • 北大核心期刊（2011版）
  • 主管单位:国家教育部
  • 主办单位:东南大学 中国微米纳米技术学会
  • 主编：黄庆安
  • 地址：南京市四牌楼2号
  • 邮编：210096
  • 邮箱：dzcg-bjb@163.com
  • 电话：025-83794925
  • 国际标准刊号：ISSN：1004-1699
  • 国内统一刊号：ISSN：32-1322/TN
  • 邮发代号:28-366
  • 获奖情况:
  • 2011-2012年获中国科技论文在线优秀期刊一等奖,2012年获第四届中国高校优秀科技期刊奖,2011年获中国精品科技期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）
  • 被引量:18030